ST2263 型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试导体、半导体材料电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
021-39107008/15300727009
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电阻率 |
1×10-4～2×105Ω/cm |
分辨率 |
1×10-5～1×102Ω/cm |
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方阻 |
5×10-4～1×106Ω/cm2 |
分辨率 |
1×10-5～1×102Ω/cm2 |
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电阻 |
1×10-5～2×105Ω |
分辨率 |
1×10-6～1×102Ω |
