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台阶仪
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DEKTAK XT3D表面轮廓仪是一种先进的薄、厚薄膜台阶测量工具。除了分析表面形貌和波形度外，DektakXT系统还可以测量在纳米范围内的粗糙度。

021-39107008/15300727009

台阶仪
测试能力
扫描长度 50um-55mm
台阶高度重现性 5Å, 1σ 在1um台阶上
垂直分辨率 最大1Å（6.5um范围)
探针曲率半径 0.2-25um
超细探针 50nm
设备事业部
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涂层事业部
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