纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。福宜使用的Keysight第五代原位纳米力学测试系统，因其广且灵活的加载范围和压头移动距离，适用于各种材料和硬质薄膜及涂层检测，也适用于各种较厚薄膜和涂层、粗糙度较大的样品的检测。而且因其独有的技术优势，在整个测量过程中热飘移效应能实现被实时扣除。
021-39107008/15300727009
| 位移测量方式 | 电容位移传感器 |
| 压头总的位移范围 | ≥1.5mm |
| 最大压痕深度 | ＞500μm |
| 位移分辨率 | 0.01nm |
| 最大载荷 | ＞500mN |
| 载荷分辨率 | 50nN |
| 定位精度 | 1μm |
| 总的放大倍率 | 250倍和1000倍 |
| 物镜镜头 | 10x和40x |
