近日，上海福宜“耐事故核燃料包壳管表面防护涂层制备系统的研究“项目荣获上海真空科技进步奖三等奖。

上海福宜真空设备有限公司是上海市高新技术企业、专精特新企业，致力于先进PVD基础技术研究和新兴行业产业化应用，聚焦先进PVD工艺开发与设备集成相结合。

核心部件研发和持续优化，是福宜PVD设备整体技术的关键，主要包括：优化旋转磁控溅射阴极、高材料利用率矩形平面阴极、非平衡磁场磁控溅射阴极；线性阳极层离子源、高工作电压离子源；高能量密度弧源和高功率脉冲弧电源；开发真空设备用调压蝶阀等关键配套部件，以提高设备运行稳定性和自动化水平。

上海福宜在核能ATF耐事故涂层及装备技术、氢能双极板涂层及产业化设备集成、电解槽低铂复合金属耐腐蚀涂层、高温温度传感器芯片国产化和耐高温、耐腐蚀、超硬等功能薄膜材料和产业化设备国产化方面，具有技术的整体优势。

上海福宜的真空装备和工艺开发能力得到了中国核动力研究设计院的认可，双方联合开发的耐事故核燃料包壳管表面防护涂层制备系统（ATF），于2021年4月1日圆满通过验收，奠定了上海福宜在超大型（有效区4m）真空镀膜设备设计与集成技术在行业内优势地位。

上海市真空学会成立于1985年，是上海真空科学技术工作者的学术性团体，也是上海市科学技术协会的组成部分，业务上接受中国真空学会的指导。学会设有真空设备、真空应用、真空薄膜、真空冶金、真空电子和真空冷冻干燥与保鲜等六个专业委员会。还设有真空科技咨询部；学会专家库；《上海真空》编辑部，学会还建有上海市真空学会网。

真空网（http://www.chinesevacuum.com）是由中国科协所属的中国真空学会主办的门户网站，是真空技术领域厂商和用户互动的平台。